进口真空泵是指使用机械、化学或物理化学的方式来对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。粗浅来讲,真空泵是用各种办法在某一关闭空间中改进、发生和保持真空的设备。
进口真空泵的压强应该满足真空设备的作业压强要求。如:真空枯燥工艺要求10mmHg的作业真空度,选用的真空泵的真空度至少要2mmHg,能达到1mmHg。一般选择真空泵的真空度要高于真空设备作业真空度半个到一个数量级。
进口真空泵对油污染的要求。若设备严峻要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、、低温泵、。假设要求不严峻,可以选油泵,加上一些防油污染办法,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
正确地组合真空泵。因为真空泵有选择性抽气,因此,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需求几种泵组合起来,相互补充才干满足抽气要求。如钛提高泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而溅射离子泵,(或二型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,两者组合起来,便会使真空设备得到较好的真空度。别的,有的真空泵不能在大气压下作业,需求预真空;有的进口真空泵出口压强低于大气压,需求前级泵,故都需求把泵组合起来使用。真空泵在其作业压强下,应能排走真空设备工艺进程中发生的悉数气体量。
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘埃,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需求知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假设气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上设备辅佐设备,如冷凝器、除尘器等。
怎么选择进口真空泵。每种泵都有必定的作业压强规划,如:2BV系列水环真空泵作业压强规划760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强规划内,泵的抽速随压强而改动(详细改动状况参照泵的功用曲线),其稳定的作业压强规划为760~60mmHg。因此,泵的作业点应该选在这个规划之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期作业。
进口真空泵作业时发生的振荡对工艺进程及环境有无影响。若工艺进程不允许,应选择无振荡的泵或许采纳防振荡办法。
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