超硬质工具镀膜机（真空电镀机系列）

多弧离子镀（工具镀膜）是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。

1、全SUS304不锈钢机身，隐藏式双层冷却水套设计

2、合理配备多套研制的离子弧源，配备弧源过滤系统，有效保障弧源溅射的致密性与均匀性

3、炉体加温和冷却技术，使镀膜温度可达到550摄氏度的同时伴以优秀的炉体冷却能力

4、装载大功率脉冲偏压电源，极大提高电粒子能量，从而获得优秀的膜层结合力和光洁度 。

5、采用创新工艺制造，精益求精。

磁控溅射镀膜设备

腔体结构:立式前开门，后置真空获得系统

材质用料:腔体采用优质SUS304不锈钢材质

离子弧源:依据设备大小不同配备多套弧电源系统

偏压电源:配备大功率单级脉冲偏压电源

多弧靶材:标配多套钛靶或不锈钢靶材

转动系统:变频调速，公自转结合，可采用上传动或下传动方式

真空系统:分子泵+罗茨泵+直联泵（进口）+维持泵+可选深冷泵

气体控制:多路气体质量流量控制系统

加热系统:超硬质工具镀膜550℃温控PID可调可控。

智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现逻辑全自动控制

报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。

报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。

其他技术参数：

极限真空:5.0×10-4Pa

抽气速率:5.0*10-2≤5min

水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa