性能

峰值速度

105 m3h-1

620 m3h-1

800 m3h-1

62 ft3min-1

365 ft3min-1

471 ft3min-1

1750 lmin-1

10333 lmin-1

13333 lmin-1

极限压力

5 x 10-3 mbar

7 x 10 -4 mbar

1 x 10-3 mbar

3.75 x 10-3 Torr

5.25 x 10-4 Torr

7.5 x 10-4 Torr

0.5 Pa

0.07 Pa

0.10 Pa

700 Torr 排气压力下的极限

功率

1 kW

1.6 kW

1.6 kW

AUC（有源设备控制器）

0.05 kW

0.05 kW

1.05 kW

水*

水入口

1 slm

2 slm

2 slm

氮气

0 slm

0 slm

4 或 14 slm **

安装详细信息

占地面积（不包括排气装置）

0.20 m2

0.20 m2

0.20 m2

重量

120 kg

220 kg

230 kg

入口连接

ISO 63

ISO 100

ISO 100

出口连接

NW25

NW25

NW25

极限噪音

<55 dB(A)

<55 dB(A)

<55 dB(A)