概述
iGX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
iGX 干泵包括以太网连接功能，允许通过网页查看主要数据，另外还包括一套全面的网络选项，可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
负载锁
输送
计量
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比，设施成本最多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便，便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的最快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1
技术数据

峰值速度	105 m3h-1	620 m3h-1
	62 cfm	365 cfm
	1750 l min-1	10333 l min-1
极限压力	5.00E-03 mbar	7.00E-04 mbar
	3.75E-03 Torr	5.25E-04 Torr
	0.50 Pa	0.07 Pa
AUC（有源设备控制器）	0.05 kW	0.05 kW
水入口*	1 slm	2 slm
氮	0 slm	0 slm
占地面积（不包括排气装置）	0.20 m2	0.20 m2
重量	120 kg	220 kg
进气口连接	ISO63	ISO100
出口连接	NW25	NW25
极限噪音	< 55 dB(A)	< 55 dB(A)